인텔의 22nm공정 전략

<22nm sample>

인텔이 지난 IEF 2009에서 22nm 공정 웨이퍼를 전시했었고, 2011년 하반기에 관련 제품을 출시할 것입니다.

 

당연히, 새로운 반도체 공정을 실현하는 것은 인텔 혼자의 힘으로만 할 수 있는 것은 아닙니다. 그 뒤에는 묵묵히 공헌하고 있는 반도체 설비 제조사들이 있으나 일반 사람들은 이를 잘 모르지요. Arete Research LLC의 분석가인 Jagadish Iyer는 자신의 보고서에서 인텔이 22nm 리소그래피 공정 설비를 제공하줄 회사를 결정했는데, 각각 네덜란드의 ASML Holding NV 와 일본의 Nikon이라고 합니다.

 

일찌기 45nm 공정에서, ASML과 Nikon은 인텔의 리소그래피 설비를 제공한 회사였습니다. 

하지만 인텔이 32nm 공정에서 처음으로 액침 노광 기술을 사용하면서 니콘만 관련 설비를 판매했었는데, 이번에 ASML이 다시 돌아온 것입니다.

 

ASML이 판매하는 리소그래피 장비는 NXT:1950i로서 한대당 가격이 $5440만(한화 6300억) 이며 40%의 FEOL-전공정, 기판공정- 리소그래피 레벨을 담당합니다. 

Nikon의 리소그래피 장비는 S620D로 가격은 $3000만(한화 3450억)이며 60%의 BEOL-후공정, 배선공정- 리소그래피 레벨을 담당합니다. 

인텔의 22nm 공정은 45개의 리소그래피 레벨이 있는데 그중 55%는 액침 노광으로 진행하게 됩니다.

 22nm 공정에서 인텔은 계속하여 193nm 액침 노광 기술을 사용합니다. 최근 로드맵에서는 이를 11nm 공정까지 계속하여 사용할 것이라는군요. 

이것은 극자외선(EUV) 리소그래피 장비를 계속하여 사용한다는 것입니다.

 

Jagadish Iyer은 2010년 올해 말에 인텔이 매달 5천장의 22nm 웨이퍼를 생산할 것이고, 2011~2012년에는 4곳의 공장에서 풀가동으로 생산을 시작하여, 한 곳의 공장에서 매달 45000장의 22nm 웨이퍼를 생산할 것이라고 예측하고 있습니다. 이러면 한달 18만장 정도 생산하게 됩니다.